单波长能量色散X射线荧光分析技术（Monochromatic Excitation Beam ED-XRF）是当前该领域研发的核心技术。其核心在于，X射线管出射射线不直接照射样品，而是借助双曲面弯晶、二次靶或多层膜弯晶等光学元件，将出射谱中某一单一能量的X射线衍射并聚焦至样品点，激发荧光。该方式极大抑制了轫致辐射照射样品产生的散射背景，显著提高元素特征荧光峰背比，从而有效降低检出限，将XRF元素检测延伸至微量甚至痕量级别，进而在石油化工、环境保护、食品安全、中药重金属等领域获得广泛应用。
MED-XRF技术原理图
双曲面弯晶将微焦斑X射线管发射的原级X射线的特征射线单色化并聚焦于测试样品的表面：
出射原级谱与经双曲弯晶单色化对比图
